小抽速愛(ài)德華螺桿泵真空泵IX80/160，螺桿真空泵IX系列產(chǎn)品是抽氣量很小的螺桿系列產(chǎn)品，一般是在半導體實(shí)驗室使，，真空泵配件，和真空泵維修，Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過(guò)現場(chǎng)應用證明，可以按照高工作標準運行。通過(guò)延長(cháng)使用壽命、提高運行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)地減小占地面積、降低運行成本，實(shí)現了高的可靠性和性能。