安捷倫分子泵是一種高速旋轉的機械泵，因此對平衡的要求很高，對固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造，使得葉片轉速不斷提高的同時(shí)，更使分子泵適合超高真空系統，也延長(cháng)了分子泵的使用壽命。

　　安捷倫分子泵的操作需嚴格遵循規范，以確保其性能、延長(cháng)使用壽命并避免設備損壞。以下是分子泵操作的關(guān)鍵注意事項：

　　一、啟動(dòng)前的準備

　　檢查電源與控制系統

　　確保分子泵的電源電壓、頻率與設備要求匹配，接線(xiàn)牢固可靠。

　　檢查控制系統（如變頻器、溫控器）是否正常運行，參數設置是否正確。

　　確認真空環(huán)境

　　分子泵必須在高真空環(huán)境下啟動(dòng)，禁止在大氣或低真空狀態(tài)下直接啟動(dòng)，否則會(huì )導致葉片過(guò)熱損壞。

　　使用前級泵（如機械泵）將系統抽至較低壓力（通常低于10 Pa），再啟動(dòng)分子泵。

　　檢查冷卻系統

　　分子泵運行時(shí)會(huì )產(chǎn)生熱量，需確保冷卻水（或風(fēng)冷系統）正常循環(huán)，避免過(guò)熱。

　　檢查冷卻水管路是否暢通，水流開(kāi)關(guān)是否正常，水溫是否在允許范圍內（通常≤30℃）。

　　檢查振動(dòng)與噪音

　　手動(dòng)旋轉分子泵轉子，確保無(wú)卡頓或異常摩擦聲，避免異物進(jìn)入泵內。

　　二、啟動(dòng)步驟

　　開(kāi)啟前級泵

　　先啟動(dòng)前級泵（如機械泵），將系統壓力抽至分子泵允許的啟動(dòng)壓力以下（通常<10 Pa）。

　　啟動(dòng)分子泵

　　緩慢增加分子泵的電機轉速（通過(guò)變頻器控制），避免瞬間高速啟動(dòng)導致電機過(guò)載或葉片損傷。

　　觀(guān)察分子泵的運行電流和振動(dòng)情況，確保平穩加速至額定轉速。

　　監控真空度

　　啟動(dòng)后，密切關(guān)注系統真空度的上升情況，確認分子泵抽氣效果正常。

　　三、運行中的維護

　　保持冷卻系統穩定

　　持續監測冷卻水溫度、流量和壓力，確保散熱效果良好。

　　定期清洗冷卻水過(guò)濾器，防止堵塞。

　　注意異常聲音和振動(dòng)

　　分子泵運行時(shí)應平穩無(wú)異常噪音，若出現異響或振動(dòng)過(guò)大，需立即停機檢查，可能是軸承磨損或葉片失衡。

　　避免返流污染

　　在高真空系統中，避免突然切斷分子泵電源或關(guān)閉閥門(mén)，防止空氣倒灌導致葉片污染或氧化。

　　定期檢查油潤滑分子泵

　　對于需要潤滑油的分子泵，定期檢查油位和油質(zhì)，及時(shí)更換老化或污染的潤滑油。

　　四、停機操作

　　逐步降速停止

　　關(guān)閉分子泵電源前，先通過(guò)變頻器降低轉速至低值，再完q斷電，避免瞬間停機造成沖擊。

　　關(guān)閉前級泵

　　分子泵完q停止后，再關(guān)閉前級泵，防止系統壓力驟升對分子泵造成損害。

　　隔絕大氣

　　停機后，立即關(guān)閉真空系統的閥門(mén)，防止空氣進(jìn)入泵內導致污染或氧化。