真空泵是利用機械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對容器進(jìn)行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量?jì)x表、連接管路等)組成真空系統，廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫藥、航天等部門(mén)。真空泵按結構類(lèi)型可分為機械式，噴射式和吸著(zhù)式，凡是利用機械運動(dòng)來(lái)獲得真空的泵稱(chēng)為機械真空泵。按其工作原理及機構特點(diǎn)分為變容真空泵和動(dòng)量傳輸泵，變容式真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。這種泵分為旋轉式和往復式兩種，旋轉式真空泵利用泵腔內轉子部件的旋轉運動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出，主要有有以下4 類(lèi)：(1)液環(huán)真空泵；(2)油封式真空泵；(3)干式真空泵；(4)羅茨真空泵。液環(huán)真空泵將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時(shí)，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油，所以亦稱(chēng)為水環(huán)真空泵或油環(huán)真空泵。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000 Pa。用油作工作液，可達130 Pa.

機械真空泵分類(lèi)

2、油式旋片真空泵機構與工作原理

　　油式旋片真空泵主要由定子、轉子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。在泵腔內偏心地安裝帶有旋片的轉子，轉子槽中裝有旋片。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。當轉子在定子腔內旋轉時(shí)周期性地將進(jìn)氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時(shí)逐漸縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣口排出[4]。旋轉時(shí)將真空泵油拋向泵殼形成于泵殼同心的油環(huán)，油環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉變容吸排氣腔。圖2 所示為油式旋片泵的工作原理示意圖，泵其結構是利用偏心地裝在定子腔內的轉子(轉子的外圓與定子的內表面相切兩者之間的間隙非常小)和轉子槽內滑動(dòng)的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內壁的兩塊旋片，當轉子旋轉時(shí)，始終沿定子的內壁滑動(dòng)。