分子泵維修的操作要求：

　　1、分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應朝上，以防松弛造成漏氣;

　　2、不能在大氣狀態(tài)下開(kāi)分子泵，必須在達到10Pa時(shí)才能打開(kāi)其相應的高閥，開(kāi)啟分子泵;

　　3、當M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時(shí)，應檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;

　　4、在開(kāi)分子泵前必須打開(kāi)冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運轉后，必須關(guān)閉冷卻水閥;

　　5、每次停機后，務(wù)必清潔各分子泵的進(jìn)氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;

　　6、當出現報警信息“EF”時(shí)，應檢查冷卻水路是否通暢，可用器槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開(kāi)分子泵。而當出現其他報警信號時(shí)，嚴禁再次啟動(dòng)分子泵，待后處理;

　　7、在分子泵出現問(wèn)題而不能使用時(shí)，應暫停生產(chǎn)，手動(dòng)充大氣后，更換備用的分子泵;

　　8、當始終達不到分子泵啟動(dòng)條件時(shí),應檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;

　　9、當分子泵出現故障時(shí),須根據故障提示作相應處理。

　　這種分子泵維修具體可分為：

　　1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。

　　2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

　　3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。